YS/T 1600-2023標(biāo)準(zhǔn)基本信息
標(biāo)準(zhǔn)名稱:碳化硅單晶中痕量雜質(zhì)元素含量的測(cè)定 輝光放電質(zhì)譜法
標(biāo)準(zhǔn)號(hào):YS/T 1600-2023
發(fā)布日期:2023-04-21
實(shí)施日期:2023-11-01
制修訂:制定
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào):H17
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào):77.040.30
批準(zhǔn)發(fā)布部門:工業(yè)和信息化部
行業(yè)分類:制造業(yè)
標(biāo)準(zhǔn)類別:方法標(biāo)準(zhǔn)
適用范圍:本文件適用于碳化硅單晶中雜質(zhì)元素含量的測(cè)定。
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結(jié)語(yǔ)
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