行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《鉑鈷鉻硼合金濺射靶材》，主管部門為工業(yè)和信息化部。本文件規(guī)定了鉑鈷鉻硼合金濺射靶材的分類和標(biāo)記、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及隨行文件和訂貨單內(nèi)容。本文件適用于以高純鉑、鈷、鉻、硼為原料，經(jīng)真空熔鑄或粉末冶金燒結(jié)等工藝制得的鉑鈷鉻硼合金濺射靶材，產(chǎn)品主要用于機(jī)械硬盤磁存儲(chǔ)介質(zhì)的磁記錄層材料。

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氧化鋅鋁磁控濺射靶材的術(shù)語(yǔ)和定義、基本要求、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存、質(zhì)量承諾等

本標(biāo)準(zhǔn)適用于粉末冶金生產(chǎn)的用于磁控濺射沉積節(jié)能Low-E玻璃的功能介質(zhì)層以及薄膜太陽(yáng)能電池透明電極層等膜層的氧化鋅鋁磁控濺射靶材

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《磁記錄用鉻鉭鈦合金濺射靶材》，主管部門為工業(yè)和信息化部。本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了磁記錄用鉻鉭鈦合金濺射靶材的術(shù)語(yǔ)和定義、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、質(zhì)量證明書和訂貨單(或合同)內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于6英寸~8英寸垂直磁記錄硬盤、磁盤用鉻鉭鈦合金靶材。

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《磁記錄用鐵鈷鉭合金濺射靶材》，主管部門為工業(yè)和信息化部。本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了磁記錄用鐵鈷鉭合金濺射靶材的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、質(zhì)量證明書和訂貨單(或合同)內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于6英寸~8英寸垂直磁記錄硬盤、磁盤用鐵鈷鉭合金靶材。

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材》由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口上報(bào)，主管部門為工業(yè)和信息化部。本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、訂貨單(或合同)等內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材，以下簡(jiǎn)稱高純鎢及鎢合金靶。

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《電子薄膜用高純鈦濺射靶材》由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口上報(bào)，主管部門為工業(yè)和信息化部。本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子薄膜用高純鈦濺射靶材的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及質(zhì)量證明與合同(訂單)等內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子薄膜制造用的各類鈦濺射靶材。

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《電子薄膜用高純銅濺射靶材》由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化中心歸口上報(bào)，主管部門為工業(yè)和信息化部。本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子薄膜用高純銅濺射靶材的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、質(zhì)量證明書及合同（或訂貨單）內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子薄膜制造用的各類高純銅濺射靶材（以下簡(jiǎn)稱高純銅靶）。

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《濺射靶材-背板結(jié)合質(zhì)量超聲波檢驗(yàn)方法》由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化中心歸口上報(bào)，主管部門為工業(yè)和信息化部。本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了濺射用靶材-背板結(jié)合質(zhì)量檢驗(yàn)方法的一般要求、檢驗(yàn)設(shè)備、對(duì)比試塊、檢驗(yàn)過程、缺陷評(píng)定及檢驗(yàn)報(bào)告等，該方法采用超聲縱波脈沖反射液浸法C掃描檢驗(yàn)技術(shù)。本標(biāo)準(zhǔn)適用于用中間層材料結(jié)合方式（如軟釬焊、硬釬焊和環(huán)氧樹脂粘接等）的濺射靶材-背板結(jié)合面的孔洞、未結(jié)合、氧化物夾雜等缺陷的檢驗(yàn)。其他用途的材料結(jié)合質(zhì)量無(wú)損檢測(cè)也可參照使用。

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《平面磁控濺射靶材 光學(xué)薄膜用鈮靶》由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口上報(bào)，主管部門為工業(yè)和信息化部。本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了平面磁控濺射光學(xué)薄膜用鈮靶材的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、訂貨單(合同)內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于平面磁控濺射光學(xué)薄膜用鈮靶材。

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《平面磁控濺射靶材 光學(xué)薄膜用硅靶》由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口上報(bào)，主管部門為工業(yè)和信息化部。本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了平面磁控濺射光學(xué)薄膜用硅靶材的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、訂貨單(合同)內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于平面磁控濺射光學(xué)薄膜用硅靶材。

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子薄膜用高純鋁及鋁合金濺射靶材》由TC243（全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)）歸口，TC243SC1（全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)輕金屬分會(huì)）執(zhí)行，主管部門為中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)。

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子薄膜制備用高純鋁及鋁合金靶材的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、存貯、訂貨單(或合同)等內(nèi)容。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子薄膜用各類高純鋁及鋁合金濺射靶材(以下簡(jiǎn)稱鋁靶)。